Сведения о средстве измерений: 86262-22 Система микроскопической инспекции

Номер по Госреестру СИ: 86262-22
86262-22 Система микроскопической инспекции
(FEI Helios G4 CX)

Назначение средства измерений:
Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX (далее - система) предназначена для измерений линейных размеров в плоскости XY нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Система микроскопической инспекции, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Система микроскопической инспекции
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 04.08.2022
Срок свидетельства -
Номер записи - 188246
ID в реестре СИ - 1401222
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

-,

Производитель

Изготовитель - FEI Company
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -

Статистика

Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№1808 от 2022.07.26 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)

Наличие аналогов СИ: Система микроскопической инспекции (FEI Helios G4 CX)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
86262-22 Система микроскопической инспекции (FEI Helios G4 CX)
FEI Company (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
71098-18 Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT)
Общество с ограниченной ответственностью "АКСАЛИТ Софт" (ООО "АКСАЛИТ Софт") (РОССИЯ г. Екатеринбург)

Все средства измерений Общество с ограниченной ответственностью "АКСАЛИТ Софт" (ООО "АКСАЛИТ Софт")

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
86262-22

Система микроскопической инспекции, FEI Helios G4 CX
FEI Company (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год

Челябинск - административный центр области, столица Южного Урала. Город был основан в 1736 году. Первоначально на его месте стояла Челябинская крепость, охранявшая путь из Зауралья в Оренбург.

В Челябинске проживает 1,093 миллиона человек. Город занимает 9-е место среди городов-"миллионеров" Российской Федерации. Расстояние от Челябинска до Москвы составляет 1776 км.

Челябинск - крупный промышленный центр. В городе развиты предприятия металлургии и машиностроения, суммарная доля которых в общем объеме промышленного производства составляет более 60%. Челябинск - один из крупнейших производителей металла в России, 43% отечественных ферросплавов производится на предприятиях города. Также хорошо развиты приборостроение, легкая и пищевая промышленность.

Металлургическая промышленность Челябинска представлена тремя крупными предприятиями: металлургическим комбинатом ("Мечел"), выпускающим кокс, чугун, прокат и другую продукцию; электрометаллургическим заводом, крупнейшим в стране производителем ферросплавов; цинковым заводом - флагманом цветной металлургии, одним из крупнейших лидеров по производству цинка.

Второй по значимости отраслью, широко представленной в Челябинске, является машиностроение. Инструментальный завод специализируется на производстве высококачественного измерительного инструмента. Тракторный завод "Уралтрак" производит колесную и гусеничную дорожно-строительную технику. Автоматизированный механический завод является производителем оборонной продукции. Завод "Прибор" занимается производством приборов контроля давления для космической техники и военно-морского флота. Завод "Теплоприбор" - крупнейшее приборостроительное предприятие в России. Радиозавод "Полет" - предприятие по производству радиоаппаратуры для нужд военной и гражданской авиации.

Химические предприятия и заводы Челябинска: угольная компания и химико-фармацевтический завод.

Отчет "Анализ рынка поверки в Челябинске" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Нижний Новгород.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2025 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ФГБУ "ВНИИМС"
(RA.RU.311493)
РСТ
  • -
  • 3 2 1 0 3 2 1

    Стоимость поверки Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Система имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.

    Программное обеспечение «xTm Microscope Control» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы.

    Конструкция системы исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО системы и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

    Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО.

    Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.

    аблица 1 - Идентификационные данные ПО

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    xTm Microscope Control

    Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже

    12.1.1

    Цифровой идентификатор ПО

    -

    Лист № 3

    Всего листов 4

    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений

    приведены в разделе «Порядок работы» руководства по эксплуатации.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измерений

    Техническая документация фирмы - производителя

    Правообладатель

    FEI Company, США

    Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA

    Тел./факс: +1 (503) 726-7500

    Web-сайт: https://www.fei.com/

    E-mail: info@fei.com

    Изготовитель

    FEI Company, США
    Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA
    Тел./факс: +1 (503) 726-7500
    Web-сайт: https://www.fei.com/
    E-mail: info@fei.com

    Испытательный центр

    Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГБУ «ВНИИМС»)
    Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
    Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
    E-mail: office@vniims.ru,

    Правообладатель

    FEI Company, США
    Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA
    Тел./факс: +1 (503) 726-7500
    Web-сайт: https://www.fei.com/
    E-mail: info@fei.com

    Принцип работы системы основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца.

    Система состоит из электронной колонны, ионной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и стола оператора с персональным компьютером. В состав электронной колонны входит источник электронов, отклоняющая система, включающая электромагнитные, электростатические или комбинированные линзы и обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. В состав ионной колонны входит источник ионов, отклоняющая система, обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. Вакуумная система состоит из форвакуумных, турбомолекулярных и ионно-гетерных насосов, а также системы клапанов. Предназначена для формирования и поддержания режимов высокого и низкого вакуума, а также режима естественной среды. Различные детекторы, установленные на системе, обеспечивают формирование изображения в различных типах контрастов (топографический, композиционный, смешанный, в низко-энергетичных электронах), а также предоставляют информацию об элементном, фазовом и кристаллографическом составе поверхности образцов. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации от детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах.

    Управление и настройка системы осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.

    Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей.

    Заводской (серийный) номер системы имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус системы в виде шильды с нанесенным вручную заводским номером (зав. № 9925578). Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид системы приведен на рисунке 1.

    Внешний вид. Системы анализа микроструктуры объектов (AXALIT), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - внешний вид системы микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX


    Таблица 4 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    Система микроскопической инспекции

    FEI Helios G4 CX

    1 шт.

    Компьютер с ПО

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    1 экз.


    Таблица 2 - Метрологические характеристики системы

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм

    от 0,01 до 500

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений в плоскости XY, мкм:

    - от 0,01 мкм до 100 мкм включ.

    ±(0,002+3-L/100),

    где L - измеряемый размер в мкм

    - св. 100 мкм до 500 мкм

    ±(0,002+5<L/100),

    где L - измеряемый размер в мкм

    Таблица 3 - Технические характеристики системы

    Наименование характеристики

    Значение

    Максимальное разрешение, нм

    0,8

    Давление в камере, Па, не более

    5М0-4

    Увеличение, крат

    от 150 до 1 500 000

    Относительная влажность, %, не более, без конденсата

    80

    Габаритные размеры, не более, мм:

    -длина

    1300

    -ширина

    900

    -высота

    2000

    Питающее напряжение, В

    от 207 до 253

    Частота, Гц

    50

    Потребляемая мощность, 1ТА, не более

    2300

    Условия эксплуатации

    - температура окружающей среды, °С

    от +18 до +22

    - относительная влажность, %

    до 90


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель