Принцип работы интерферометров основан на анализе деформации формы интерференционных полос, возникающих в промежутке между эталонной поверхностью сравнения и поверхностью контролируемой детали в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.

Интерферометры состоят из следующих основных блоков: оптико-механического блока, юстировочного стола, для установки измеряемой детали и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм.

Интерферометры построены по вертикальной схеме интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется лазер с длиной волны 633 нм или 660 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм или 300 мм.

Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливается таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.

В результате один волновой фронт - опорный - формируется при прохождении через эталонную поверхность. Другой - предметный - отражается и искажается поверхностью контролируемой детали. Он возвращается в интерферометр и интерферирует с опорным. При этом образуется интерференционная картина.

Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины методом Фурье с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.

Внешний вид интерферометра приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид интерферометров

Рисунок 2 - Вид таблички с заводским номером

Нанесение знака поверки на интерферометры не предусмотрено. Заводской номер в виде буквенно-цифрового или цифрового обозначения наносится гравированием на маркировочную табличку, которая закрепляется на заднюю часть корпусов интерферометров (рисунок 2).

Пломбирование интерферометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Таблица 4 -

Таблица 2 - Основные

инт

Таблица 3 - Технические характеристики интерферометров