Номер по Госреестру СИ: 93969-24
93969-24 Микроскопы сканирующие электронные измерительные
(NEWTONS)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные измерительные NEWTONS (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 1

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 2

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 3

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 4

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 5

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 6

Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 7
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) SEMXXXX или DB500.
ПО SEMXXXX и DB500 предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО SEMXXXX и DB500 не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО:
|
SEMXXXX DB500 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.9 и выше |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные измерительные NEWTONS. Руководство по эксплуатации», раздел 10 «Проведение измерений линейных размеров».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
ПравообладательФирма «Beijing Orange Times Import&Export Co., Ltd.», Китай.
Адрес: 629 Huoxing 1st Street, Huoxian Town, Tongzhou District, Beijing, China. Тел.: +86-10-65568853
E-mail: orangetimes@163.com
Web-сайт: https://www.orangetimes-bj.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в цифровом или буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 6.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT2000
Рисунок 3 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT3300
типаРисунок 4 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT4000
Рисунок 5 - Общий вид микроскопов модификаций NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X.
Рисунок 6 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NTDB500Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 7.
место установки шильдика с заводским номеромРисунок 7 - Место установки шильдика с заводским номером.
Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) SEMXXXX или DB500.
ПО SEMXXXX и DB500 предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО SEMXXXX и DB500 не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО:
|
SEMXXXX DB500 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.9 и выше |
Метрологические и технические характеристики Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,1 до 2000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 |
|
* - опционально | |
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
NEWTONS NT2000 |
NEWTONS NT3200, NEWTONS NT3300 |
NEWTONS NT4000, NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X, NEWTONS NTDB500 | |
|
Источник электронов |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
Термополевой катод типа Шоттки | |
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
20, 30* |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
3,9 |
3,0 |
0,9 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
4,5 |
4,0 |
1,8 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 300000 |
от 10 до 1000000 |
от 10 до 2500000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм |
100x100 |
120x115 |
125x125 |
|
Диапазон углов вращения столика образцов, градусов |
- |
от 0 до 360 |
от 0 до 360 |
|
Диапазон углов наклона столика образцов, градусов |
- |
от -10 до +90 |
от -10 до +90 |
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | ||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
400 |
560 |
800 |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
2000 |
3000 |
5000 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 205 до 255 | ||
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширина хглубина ^высота), мм, не более:
|
923x833x1650 340x160x140 |
1310х910х1900 340x160x140 | |
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +30 от 10 до 75 | ||
|
* - опционально | |||
Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный измерительный |
NEWTONS NT2000 (либо NEWTONS NT3200, NEWTONS NT3300, NEWTONS NT4000, NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X, NEWTONS NTDB500) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
Правообладатель Фирма «Beijing Orange Times Import&Export Co., Ltd.», Китай.
Адрес: 629 Huoxing 1st Street, Huoxian Town, Tongzhou District, Beijing, China. Тел.: +86-10-65568853
E-mail: orangetimes@163.com
Web-сайт: https://www.orangetimes-bj.com
Фирма «Beijing Orange Times Import&Export Co., Ltd.», Китай.
Адрес: 629 Huoxing 1st Street, Huoxian Town, Tongzhou District, Beijing, China. Тел.: +86-10-65568853
E-mail: orangetimes@163.com
Web-сайт: https://www.orangetimes-bj .com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, к. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «Beijing Orange Times Import&Export Co., Ltd.», Китай.Адрес: 629 Huoxing 1st Street, Huoxian Town, Tongzhou District, Beijing, China. Тел.: +86-10-65568853
E-mail: orangetimes@163.com
Web-сайт: https://www.orangetimes-bj.com
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Формирование развертки электронного пучка происходит путем подачи на отклоняющие катушки X и Y пилообразного напряжения, что обеспечивает формирование соответственно строчной и кадровой развертки электронного пучка. Изменение значения размаха напряжения в отклоняющих катушках позволяет регулировать размер растра, который формируется сфокусированным на образце электронным пучком. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Энергия электронов пучка, падающего на образец, определяется значением ускоряющего напряжения, прикладываемого между электронной пушкой и анодом микроскопа.
Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для электронно-зондового элементного анализа. Метод ЭДС основан на регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении ускоренных электронов с образцом.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: NEWTONS NT2000, NEWTONS NT3200, NEWTONS NT3300, NEWTONS NT4000, NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X, NEWTONS NTDB500, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения, типом источника электронов, пространственным разрешением, наличием/отсутствием режима низкого вакуума и наличием/отсутствием дополнительной ионной колонны. Микроскопы выполнены в напольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса и рабочего места оператора с персональным компьютером, имеющим специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратно-рассеянных электронов (ОРЭ). Модификация микроскопа NEWTONS NTDB500 оснащена дополнительной ионной колонной, позволяющей реализовать режим облучения образца сфокусированным пучком ионов Ga.
Камера образцов оборудована двумя встроенными оптическими видеокамерами с ИК-подсветкой. Изображение с первой видеокамеры обеспечивает подвод выбранного участка исследуемого образца в область электронно-оптической оси микроскопа, изображение с второй видеокамеры позволяет контролировать необходимый зазор между объективной линзой и образцом.
Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X и Y (модификация NEWTONS NT2000), по осям X, Y, Z, R, T для остальных модификаций.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в цифровом или буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 6.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT2000

Рисунок 3 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT3300
типа
Рисунок 4 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NT4000
Рисунок 5 - Общий вид микроскопов модификаций NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X.
Рисунок 6 - Общий вид микроскопов модификации NEWTONS NTDB500
Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 7.
место установки шильдика с заводским номером
Рисунок 7 - Место установки шильдика с заводским номером.
Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,1 до 2000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 |
|
* - опционально | |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
NEWTONS NT2000 |
NEWTONS NT3200, NEWTONS NT3300 |
NEWTONS NT4000, NEWTONS NT5000, NEWTONS NT5000X, NEWTONS NTDB500 | |
|
Источник электронов |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
Термополевой катод типа Шоттки | |
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
20, 30* |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
3,9 |
3,0 |
0,9 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
4,5 |
4,0 |
1,8 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 300000 |
от 10 до 1000000 |
от 10 до 2500000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям X, Y, мм |
100x100 |
120x115 |
125x125 |
|
Диапазон углов вращения столика образцов, градусов |
- |
от 0 до 360 |
от 0 до 360 |
|
Диапазон углов наклона столика образцов, градусов |
- |
от -10 до +90 |
от -10 до +90 |
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | ||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
400 |
560 |
800 |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
2000 |
3000 |
5000 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 205 до 255 | ||
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширина хглубина ^высота), мм, не более:
|
923x833x1650 340x160x140 |
1310х910х1900 340x160x140 | |
|
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +30 от 10 до 75 | ||
|
* - опционально | |||

