Номер по Госреестру СИ: 94689-25
94689-25 Микроскопы сканирующие электронные измерительные
(Himera)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные измерительные Himera (далее -микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 4
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 5
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 6
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 7
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные измерительные
Рисунок № 8
Общие сведения
Дата публикации - 22.02.2025
Срок свидетельства - 20.02.2030
Номер записи - 196488
ID в реестре СИ - 1423687
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
мод. Himera EM50Pro, мод. Himera EM32,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd."
Страна - КИТАЙ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет "Подбор поверителей по области измерений" позволяет быстро найти организации, специализирующиеся поверкой СИ в конкретной области измерений.
Для запуска отчета достаточно выбрать из списка интересующую область измерений и нажать кнопку "Показать результат".
В результатах поиска будет отображена таблица, содержащая информацию об организациях, проводивших поверку, их статус (подвед РСТ или нет), модификации типов СИ, общее количество поверок и количество поверок, сделанных в текущем году.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№346 от 2025.02.20 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (14)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные измерительные (Himera)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd."
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
94689-25 20.02.2030 |
Микроскопы сканирующие электронные измерительные, Himera Фирма "Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd." (КИТАЙ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные измерительные (Himera)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 3 | 3 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные измерительные (Himera)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) SEMXXXX или DB550.
ПО SEMXXXX и DB550 предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО SEMXXXX и DB550 не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО:
Himera EM33, Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40X, Himera EM50Pro, Himera EM50X, Himera HEM60
|
SEMXXXX DB550 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.3 и выше |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные измерительные Himera.
Руководство по эксплуатации», раздел 7.5.1 «Измерение линейных размеров».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
ПравообладательФирма «Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd.», Китай
Адрес: Room 1701, 17th Floor, Block B, Innovation International, №222 Caihong Road, High-tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тел.: +8655165633860
E-mail: 493170216@qq.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий утверждения типа приведены на рисункахвид микроскопов и место нанесения знака
1 - 7.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов модификации Himera EM21
Рисунок 2 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM32, Himera EM32A
Рисунок 3 - Общий вид микроскопов модификации Himera EM33
Рисунок 4 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera ЕМ40Х
Рисунок 5 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM50Pro, Himera EM50X
Рисунок 7 - Общий вид микроскопов модификации Himera DB55Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 8.
Рисунок 8 - Место установки шильдика с заводским номеромПрограммное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) SEMXXXX или DB550.
ПО SEMXXXX и DB550 предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО SEMXXXX и DB550 не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО:
Himera EM50Pro, Himera EM50X, Himera HEM60
|
SEMXXXX DB550 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
2.3 и выше |
Метрологические и технические характеристики Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,1 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 |
|
* - опционально | |
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
Himera EM21 |
Himera EM32, Himera EM32A |
Himera EM33 | |
|
Источник электронов |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод | ||
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
20, 30* |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
3,9 |
3,0 |
2,5 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
4,5 |
4,0 |
3,5 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 300000 |
от 10 до 300000 |
от 10 до 300000 |
Диапазон перемещений предметного столика, мм, не менее
|
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
|
Диапазон углов наклона столика образцов |
от -10° до +90° | ||
|
Диапазон углов вращения столика образцов |
от 0 до 360° | ||
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | ||
|
Максимальный размер сохраняемого изображения, пикс. |
48000x32000 | ||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
400 |
560 | |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
2000 |
3000 | |
Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина ^высота), мм, не более:
|
923x833x1650 340x160x140 | ||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +25 от 5 до 70 | ||
|
* - опционально | |||
|
Таблица 4 - Основные технические ха |
рактеристики | |||
|
Наименование характеристики |
Модификация мик |
роскопа | ||
|
Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40-X, Himera HEM60 |
Himera DB55 |
Himera EM50 Pro |
Himera EM50X | |
|
Источник электронов |
Термополевой катод типа Шоттки | |||
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
30 |
30 |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
0,9 |
0,9 |
0,8 |
0,6 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
2,0 |
1,6 |
1,5 |
1 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 1000000 |
от 10 до 2500000 |
от 10 до 2500000 |
от 10 до 2500000 |
Диапазон перемещений предметного столика, мм, не менее
|
110 (150*) 110 (150*) 50 (65*,28**) | |||
|
Диапазон углов наклона столика образцов |
от -10° до +90° | |||
|
Диапазон углов вращения столика образцов |
от 0 до 360° | |||
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | |||
|
Максимальный размер сохраняемого изображения, пикс. |
48000x32000 | |||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
850 | |||
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
5000 | |||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 205 до 255 | |||
Габаритные размеры (ширина^ глубина ^высота), мм, не более:
|
1310х910х1900 340x160x140 | |||
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +30 от 10 до 75 | |||
|
* - опционально, ** - для модификации Himera HEM60 | ||||
Комплектность средства измерений Таблица 5 - Комплектность
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный измерительный |
Himera EM21 (либо Himera EM32, Himera ЕМ32А, Himera EM33, Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40X, Himera HEM60, Himera DB55, Himera EM50Pro, Himera EM50X ) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации», раздел 7.5.1 «Измерение линейных размеров».
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
Правообладатель Фирма «Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd.», Китай
Адрес: Room 1701, 17th Floor, Block B, Innovation International, №222 Caihong Road, High-tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тел.: +8655165633860
E-mail: 493170216@qq.com
Фирма «Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd.», Китай
Адрес: Room 1701, 17th Floor, Block B, Innovation International, №222 Caihong Road, High-tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тел.: +8655165633860
E-mail: 493170216@qq.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «Anhui Zhongtai Huayi Communication Technology Co., Ltd.», КитайАдрес: Room 1701, 17th Floor, Block B, Innovation International, №222 Caihong Road, High-tech Zone, Hefei, Anhui, China
Тел.: +8655165633860
E-mail: 493170216@qq.com
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Формирование развертки электронного пучка происходит путем подачи на отклоняющие катушки X и Y пилообразного напряжения, что обеспечивает формирование соответственно строчной и кадровой развертки электронного пучка. Изменение значения размаха напряжения в отклоняющих катушках позволяет регулировать размер растра, который формируется сфокусированным на образце электронным пучком. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Энергия электронов пучка, падающего на образец, определяется значением ускоряющего напряжения, прикладываемого между электронной пушкой и анодом микроскопа.
Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для электронно-зондового элементного анализа. Метод ЭДС основан на регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении ускоренных электронов с образцом.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: Himera EM21, Himera EM32, EM32A, Himera EM33, Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40X, EM50Pro, Himera EM50X, Himera HEM60, Himera DB55, которые различаются собой в основном значениями ускоряющего напряжения, типом источника пространственным разрешением, наличием/отсутствием режима низкого
Himera
Himera между электронов, вакуума и наличием/отсутствием дополнительной ионной колонны. Микроскопы выполнены в напольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного форвакуумного насоса и рабочего места оператора с персональным компьютером, имеющим специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий
Лист № 2
Всего листов 10
ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекулярный насос, детекторы вторичных (ВЭ) и обратно-рассеянных электронов (ОРЭ). Модификация микроскопа Himera DB55 оснащена дополнительной ионной колонной, позволяющей реализовать режим облучения образца сфокусированным пучком ионов Ga.
Камера образцов оборудована двумя встроенными оптическими видеокамерами с ИК-подсветкой. Изображение с первой видеокамеры обеспечивает подвод выбранного участка исследуемого образца в область электронно-оптической оси микроскопа, изображение с второй видеокамеры позволяет контролировать необходимый зазор между объективной линзой и образцом.
Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X, Y и Z (модификация Himera EM21), по осям X, Y, Z, R, T для остальных модификаций.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий утверждения типа приведены на рисунках
вид микроскопов и место нанесения знака
1 - 7.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов модификации Himera EM21
Рисунок 2 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM32, Himera EM32A
Рисунок 3 - Общий вид микроскопов модификации Himera EM33
Рисунок 4 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera ЕМ40Х
Рисунок 5 - Общий вид микроскопов модификаций Himera EM50Pro, Himera EM50X
Рисунок 7 - Общий вид микроскопов модификации Himera DB55
Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 8.
Рисунок 8 - Место установки шильдика с заводским номером
Таблица 5 - Комплектность
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный измерительный |
Himera EM21 (либо Himera EM32, Himera ЕМ32А, Himera EM33, Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40X, Himera HEM60, Himera DB55, Himera EM50Pro, Himera EM50X ) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Таблица 2 -
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,1 до 1000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра* на линии Ка марганца, эВ, не более |
129 |
|
* - опционально | |
Таблица 3 - Основные технические
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
Himera EM21 |
Himera EM32, Himera EM32A |
Himera EM33 | |
|
Источник электронов |
Термоэмиссионный вольфрамовый катод | ||
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
20, 30* |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
3,9 |
3,0 |
2,5 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
4,5 |
4,0 |
3,5 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 300000 |
от 10 до 300000 |
от 10 до 300000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика, мм, не менее
|
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
125 (150*) 125 (150*) 50 (60*) |
|
Диапазон углов наклона столика образцов |
от -10° до +90° | ||
|
Диапазон углов вращения столика образцов |
от 0 до 360° | ||
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | ||
|
Максимальный размер сохраняемого изображения, пикс. |
48000x32000 | ||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
400 |
560 | |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
2000 |
3000 | |
|
Габаритные размеры основных составных частей (ширинах глубина ^высота), мм, не более:
|
923x833x1650 340x160x140 | ||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
|
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +25 от 5 до 70 | ||
|
* - опционально | |||
|
Таблица 4 - Основные технические ха |
рактеристики | |||
|
Наименование характеристики |
Модификация мик |
роскопа | ||
|
Himera EM40Pro, Himera EM40Pro Lite, Himera EM40-X, Himera HEM60 |
Himera DB55 |
Himera EM50 Pro |
Himera EM50X | |
|
Источник электронов |
Термополевой катод типа Шоттки | |||
|
Максимальное ускоряющее напряжение, кВ |
30 |
30 |
30 |
30 |
|
Пространственное разрешение в режиме вторичных электронов, нм, не более |
0,9 |
0,9 |
0,8 |
0,6 |
|
Пространственное разрешение в режиме обратно рассеянных электронов, нм, не более |
2,0 |
1,6 |
1,5 |
1 |
|
Диапазон увеличений, крат |
от 10 до 1000000 |
от 10 до 2500000 |
от 10 до 2500000 |
от 10 до 2500000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика, мм, не менее
|
110 (150*) 110 (150*) 50 (65*,28**) | |||
|
Диапазон углов наклона столика образцов |
от -10° до +90° | |||
|
Диапазон углов вращения столика образцов |
от 0 до 360° | |||
|
Диапазон определяемых элементов* |
от В до Cf | |||
|
Максимальный размер сохраняемого изображения, пикс. |
48000x32000 | |||
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
850 | |||
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
5000 | |||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока, В |
от 205 до 255 | |||
|
Габаритные размеры (ширина^ глубина ^высота), мм, не более:
|
1310х910х1900 340x160x140 | |||
|
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +30 от 10 до 75 | |||
|
* - опционально, ** - для модификации Himera HEM60 | ||||