№ п/п

Наименование устройства

Обозначение

Кол-во, шт

1

Базовый блок микроскопа (датчик)

ZYGO/NewView^6K NV6200Microscope Part#6300-0501-02 S/N 07-28-59448

1

2

Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich

Zygo Corp L 10221 1XLWD/0.03 WD 8.0

1

3

Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich

Zygo Corp L 10180 1XSLWD/0.03 WD 8.0

1

4

Интерферометрический объектив Майкельсона 5х Mich

Nikon 5X70,13 TI WD.9.3 426183

1

5

Интерферометрический объектив Миро 10х Mirau

Zygo Corp 1 100766 lOx

Юх/О.ЗО WD7.4 oo/0

1

6

Интерферометрический объектив Миро 20х Mirau

Zygo Corp 1200545 20x

20x/0.40 WD4.7 oo/0

1

7

Интерферометрический объектив Миро 50х Mirau

Zygo Corp I 500612 50x /0.55 WD 3.4 oo/0

1

8

Моторизованная турель для объективов на 6 мест

Nikon

1

9

Моторизованный X-Y столик

Zygo          1520-500-114

S/N:080416P138350

1

10

Контроллер сканирования микроскопа по оси Z и рабочего столика по осям X и Y;

Zygo 6202-0190-14

1

11

Драйвер рабочего столика

Zygo S/N: ТК0801010

1

12

Блок управления микроскопом

Zygo S/N: 07-28-59448

1

13

Компьютер

Dell Optiplex 745

1

14

Основной ЖК монитор

Dell 1708FPf

1

15

Вспомогательный ЖК монитор

Dell 1708FPf

1

16

Клавиатура

Типовая

1

17

Мышь

Типовая

1

18

Стол на виброизолирующих опорах

Dynamics Engineering

1

19

Компрессор

E.C.CIAO 6/185 (до 12 бар);

1

20

Руководство по эксплуатации

1

Наименование характеристики

Значение характеристики

Средняя длина волны оптического излучения, нм

550

Ширина спектра оптического излучения, нм

125

Длина когерентности оптического излучения, мкм

2,9

Диапазон измерения относительной высоты, мкм¹

0-150

Расширенный диапазон измерения относительной высоты, мм²

0,1-15

Предел вертикального разрешения (шагового двигателя), мкм

<0,1

Скорость сканирования, мкм/с

до 7

Линейное поле зрения, мм² для объектива с увеличением:

1х

5,2 х 7,0

5х

1,05 х 1,4

10х

0,52 х 0,70

20х

0,26 х 0,35

50х

0,1 х 0,14

прим.: может быть увеличено в режиме сшивки

Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы)

640x480

Характеристики тестовых пластинок

- максимальные размеры (В х Ш хД), мм

89x203x203

- коэффициент отражения поверхности, %

1-100

- материал поверхности

непрозрачный, прозрачный, с покрытием, без покрытия

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °C

15-30

- стабильность температуры, °C/15 мин

<1

- относительная влажность воздуха, %

5-95

Давление воздуха в системе виброизоляции, бар

4,1-5,5

Питание от сети общего назначения

- номинальное напряжение, В

10СН-240

- частота, Гц

50/60

Потребляемая мощность, кВт, не более

1,2

Масса микроскопа, кг, не более

430

Габаритные размеры (В х Ш хД), мм, не более

157x132x89

Площадь, занимаемая микроскопом, м², не более

4

Средний срок службы, лет, не менее

10

Диапазон измерений относительной высоты неровности, мкм

0-2

Предел разрешения, нм

<0,2

Расширенная неопределённость измерения относительной высоты h, нм, не более,

в интервале 0-20 нм

(0,2 +0,065h)

в интервале 20-180 нм

( 1,5 + 0,0063(h-20))

в интервале 80 нм - 2 мкм

(2,5 + 0,0094(h-180))

Повторяемость измерений относительной высоты двух плоскостей, не хуже, нм

в интервале 0-20 нм

0,1

в интервале 20-180 нм

0,2

в интервале 180 нм - 2 мкм

1

Диапазон измерения поперечных размеров, мкм

1 - 7000

Расширенная неопределённость измерения поперечных размеров, мкм, не более при увеличении объектива

1х

бмкм

5х

Змкм

10х

±2мкм

20х

±1,5мкм

50х

±0,7мкм

№ п/п

Наименование устройства

Обозначение

Кол-во, шт

1

Базовый блок микроскопа (датчик)

ZYGO/NewView^6K NV6200Microscope Part#6300-0501-02 S/N 07-28-59448

1

2

Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich

Zygo Corp L 10221 1XLWD/0.03 WD 8.0

1

3

Интерферометрический объектив Майкельсона lx Mich

Zygo Corp L 10180 1XSLWD/0.03 WD 8.0

1

4

Интерферометрический объектив Майкельсона 5х Mich

Nikon 5X70,13 TI WD.9.3 426183

1

5

Интерферометрический объектив Миро 10х Mirau

Zygo Corp 1 100766 lOx

Юх/О.ЗО WD7.4 oo/0

1

6

Интерферометрический объектив Миро 20х Mirau

Zygo Corp 1200545 20x

20x/0.40 WD4.7 oo/0

1

7

Интерферометрический объектив Миро 50х Mirau

Zygo Corp I 500612 50x /0.55 WD 3.4 oo/0

1

8

Моторизованная турель для объективов на 6 мест

Nikon

1

9

Моторизованный X-Y столик

Zygo          1520-500-114

S/N:080416P138350

1

10

Контроллер сканирования микроскопа по оси Z и рабочего столика по осям X и Y;

Zygo 6202-0190-14

1

11

Драйвер рабочего столика

Zygo S/N: ТК0801010

1

12

Блок управления микроскопом

Zygo S/N: 07-28-59448

1

13

Компьютер

Dell Optiplex 745

1

14

Основной ЖК монитор

Dell 1708FPf

1

15

Вспомогательный ЖК монитор

Dell 1708FPf

1

16

Клавиатура

Типовая

1

17

Мышь

Типовая

1

18

Стол на виброизолирующих опорах

Dynamics Engineering

1

19

Компрессор

E.C.CIAO 6/185 (до 12 бар);

1

20

Руководство по эксплуатации

1