Принцип действия интерферометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта. В основе приборов лежит оптическая схема неравноплечного интерферометра Тваймана-Грина.

В интерферометрах световой поток от лазерного источника, пройдя через коллимирующее устройство, попадает на светоделительную призму, после которой направляется в предметное и опорное плечи интерферометров. В предметном плече располагается объектив и исследуемый объект, в опорном - плоское зеркало. Отразившись от предмета и плоского зеркала световые пучки сходятся на светоделительной призме. Интерференционное изображение строится объективом в плоскости регистратора - видеокамеры.

Расшифровка интерферограмм производится по методу дискретного фазового сдвига, вносимого опорным зеркалом, сдвигаемым пьезоэлементом. В результате обработки интерферограмм восстанавливается двумерная карта высот профиля поверхности объекта (топограмма).

Интерферометры представлены следующими моделями:

iPhase PLANO DOWN - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных снизу;

iPhase PLANO/ SPHERO UP - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных сверху;

iPhase ST+R - для измерения объектов размером от 2 до 50 мм, расположенных сверху;

iPhase VERTICAL - для измерения объектов размером от 2 до 150 мм, расположенных снизу;

iPhase UNIVERSAL - для измерения объектов размером от 2 до 300 мм, расположенных горизонтально.

Конструктивно интерферометры состоят из: интерферометрических датчиков iPhase 500/ 1000; источника излучения (HeNe-лазер); стойки настольной установки; объектива и персонального компьютера.

В зависимости от размера и поверхности испытываемого объекта в состав интерферометров могут входить различные объективы:

• - для плоской испытываемой поверхности iLens PLANO 2, iLens PLANO 10, iLens PLANO 50, iLens PLANO 100, iLens PLANO 150, где цифры обозначают максимально возможный диаметр испытываемого образцы, мм;

• - для сферической поверхности |iLens SPHERO 10 f/5.4 NA = 0.10 (11°), iLens SPHERO 10 f/3.0 NA = 0.17 (19°), |iLens SPHERO 10 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 10 f/1.0 NA = 0.50 (60°), |iLens SPHERO 10 f/0.7 NA = 0.71 (90°), |iLens SPHERO 50 f/4.1 NA = 0.12 (14°), Lil.ens SPHERO 50 f/2.4 NA = 0.21 (24°), |iLens SPHERO 50 f/1.5 NA = 0.34 (40°), |iLens SPHERO 50 f/1.0 NA = 0.50 (60°), iLens SPHERO 50 f/0.7 NA = 0.71 (90°) где цифры 10 и 50 обозначают максимальный диаметр измеряемого образца в мм, f/5.4, f/4.1, f/3.0, f/1.5, f/1.0, f/0.7 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град); Interfero4 4” f/11

NA=0.05 (5°), Interfero4 4” f/7.2 NA=0.07 (8°), Interfero4 4” f/4.8 NA=0.10 (12°), Interfero4 4” f/3.3  NA=0.15 (17°), Interfero4 4” f/1.9   NA=0.26 (30°), Interfero4 4” f/1.5 NA=0.33 (39°),

Interfero4 4” f/1.1 NA=0.46 (55°), Interfero4 4” f/0.75 NA=0.67 (82°), F-Aplanar 10-4” f/7.60

NA=0.07 (8°), F-Aplanar 10-4” f/3.40 NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-4” f/1.50 NA=0.33 (38°),

F-Aplanar 10-4” f/1.00  NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-4” f/0.67  NA=0.75 (97°), Interfero6 6” f/5

NA=0.09 (10°),  Interfero6 6” f/2.2   NA=0.23  (26°), Interfero6 6” f/1.1   NA=0.45 (53°),

F-Aplanar 10-6” f/3.30  NA=0.15 (17°), F-Aplanar 10-6” f/1.80  NA=0.23 (32°), F-Aplanar 10-6”

f/1.00 NA=0.50 (60°), F-Aplanar 10-6” f/0.75 NA=0.67 (83°), где цифры 4”, 6” - обозначают

максимальный диаметр измеряемого образца в дюймах, f/11, f/7.2, f/4.8, f/3.3, f/2.2, f/1.1, f/1.0, f/0.75 - диафрагменное число объектива, NA - числовая апертура (апертурный угол, град).

Для ограничения доступа внутрь корпуса приборов производится их пломбирование. Пломбируется место соприкосновения передней и задней панелей корпуса на боковой стороне прибора.

Для защиты от несанкционированного доступа к элементам интерферометров, интерферометрические датчики пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соот-

ветственно.

■A?tfra

IW

Место нанесения маркировки

^д

Рисунок 1 - Общий вид интерферометров ^Phase моделей: а - PLANO DOWN, б - PLANO/ SPHERO UP, в -ST+R, г - VERTICAL, д - UNIVERSAL с указанием мест нанесения маркировки, знака поверки (М) и пломбирования (М)

В состав интерферометров входят элементы указанные в таблице 3.

Таблица 3

Таблица 2