Номер по Госреестру СИ: 96138-25
96138-25 Эллипсометр настольный спектральный
(SEI-Mapping)
Назначение средства измерений:
Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping (далее - эллипсометр) предназначен для измерений толщины и показателя преломления оптических покрытий плоских образцов посредством бесконтактного измерения эллипсометрических углов Пси и Дельта.
Внешний вид.
Эллипсометр настольный спектральный
Рисунок № 1
Внешний вид.
Эллипсометр настольный спектральный
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 18.08.2025
Срок свидетельства -
Номер записи - 10af4591-1905-2744-773b-8bc365e4fb0b
ID в реестре СИ - 1426726
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd
Страна - КИТАЙ
Населенный пункт - Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет "Подбор поверителей по группе средств измерений измерений" позволяет быстро найти организации, специализирующиеся поверкой СИ определенной группы. Каталог содержит Более 900 групп СИ.
Для запуска отчета достаточно выбрать из списка интересующую группу СИ и нажать кнопку "Показать организации-поверители".
В результатах поиска будет отображена таблица, содержащая информацию об организациях, проводивших поверку, их статус (подвед РСТ или нет), модификации типов СИ, общее количество поверок и количество поверок, сделанных в текущем году.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1683 от 2025.08.13 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)
Наличие аналогов СИ: Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
96138-25 |
Эллипсометр настольный спектральный, SEI-Mapping Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd (КИТАЙ Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет «MM_2. Сводные статические показатели реестра МВИ ФГИС «Аршин»» дает быстрый обзор ключевых метрик по всем карточкам методик измерений. Здесь собраны базовые данные: даты первой и последней публикации, общий объем записей, доля действующих методик, темп появления новых публикаций (за 30 дней, за год, YTD), а также усредненные показатели (например, средний темп в месяц).
Блоки «Организации» и «Качество данных» показывают, сколько уникальных разработчиков и аттестующих организаций представлено в базе, сколько разных номеров аккредитации встречается, и насколько полно заполнены ключевые поля карточек (контакты, диапазоны измерений, погрешность, наименование документа). Это помогает оценивать как охват реестра, так и качество его наполнения.
В разделе «Дубликаты и лидеры» видна доля строк в дубликатных реестровых номерах и самый распространенный вид измерений. Эти индикаторы полезны для наведения порядка в данных и мониторинга тематических «горячих зон». Все показатели рассчитываются непосредственно из таблицы foei_mi_flat и обновляются при каждом открытии страницы.
Кто поверяет Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Для записи сигналов и их обработки используется специальное ПО «EometricsPro», работающее в операционной среде Microsoft Windows. ПО является защищенным. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления ПО производятся изготовителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
EometricsPro |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
v.3.1.5.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананесён на корпус эллипсометра методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в главе 4 «Работа программного обеспечения» документа «Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий».
Правообладатель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»
(АО «НИИМЭ»)
Юридический адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, ул. Академика Валиева, д. 6, стр.1
ИНН 7735579027
Тел. +7 (495) 229-70-00, факс +7 (495) 229-70-75
Web-сайт: www.niime.ru
E-mail: niime@niime.ru
Изготовитель
Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd, КитайАдрес: Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan
http://www.eoptics.com.cn
Тел.: 027-8798-9806
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»
(АО «НИИМЭ»)
Юридический адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, ул. Академика Валиева, д. 6, стр.1
ИНН 7735579027
Тел. +7 (495) 229-70-00, факс +7 (495) 229-70-75
Web-сайт: www.niime.ru
E-mail: niime@niime.ru
Принцип действия эллипсометра основан на измерении изменений состояния поляризации света, отраженного от границы раздела двух сред. Эллипсометр измеряет эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн. Программное обеспечение (далее - ПО) эллипсометра на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину и показатель преломления оптических покрытий на поверхности измеряемого объекта.
Конструктивно эллипсометр состоит из блока поляризатора с источником света, гониометра с фиксированным углом падения света на образец, моторизованного стола для образцов диаметром до 300 мм с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z, и блока анализатора отраженного от образца света. Неотъемлемой частью эллипсометра является вычислительный модуль на базе персонального компьютера со специализированным ПО для проведения измерений, сбора и анализа полученных данных.
Эллипсометр снабжен вертикальной камерой для визуализации области измерения и выравнивания образца при помощи механизма наклона предметного стола. В состав эллипсометра входят две фокусирующие микронасадки для уменьшения размера светового пятна на образце.
К данному типу средства измерений относится эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping с заводским номером 1010130058.
Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, и знак утверждения типа нанесён на шильдик методом цифровой лазерной печати на пластиковую пленку и наклеен на заднюю панель эллипсометра.
Пломбирование эллипсометра не предусмотрено. Общий вид эллипсометра с обозначением места нанесения знака поверки, заводского номера и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Место
нанесения
знака
знака
поверки
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометра настольного спектрального SEI-Mapping
аблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Эллипсометр настольный спектральный |
SEI-Mapping |
1 шт. |
|
Программное обеспечение (ПО) для обработки результатов измерений |
EometricsPro |
1 шт. |
|
Вертикальная камера для визуализации области измерения в ПО |
- |
1 шт. |
Продолжение таблицы 4
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Моторизованный стол для пластин диаметром до 300 мм, с автоматическим перемещением по осям X-Y-Z и автоматической фокусировкой по Z. |
- |
1 шт. |
|
Фокусирующие микронасадки |
- |
2 шт. |
|
Безмасляный вакуумный насос Linicon |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
аблица 2 - Метрологические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины покрытий, нм |
от 2 до 4500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм:
|
±1 ±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне от 1000 до 4500 нм, % |
±1 |
|
Диапазон измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
от 1,460 до 2,022 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
±0,004 |
Таблица 3 - Технические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрической сети:
|
от 210 до 230 от 49 до 51 |
|
Мощность, Вт |
1550 |
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота) (без учета ПК и монитора), мм, не более |
900х570х742 |
|
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +26 от 35 до 60 от 75 до 101,4 |