Сведения о средстве измерений: 96387-25 Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)

Номер по Госреестру СИ: 96387-25
96387-25 Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
()

Назначение средства измерений:
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) (далее - комплект мер толщины) предназначены для воспроизведения, хранения и передачи единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий рабочим средствам измерений: лазерным, спектральным, многоугловым эллипсометрам и спектральным рефлектометрам, а также их поверки и калибровки. Комплекты мер толщины могут применяться в качестве рабочего эталона согласно Государственной поверочной схеме для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий, утвержденной Приказом Росстандарта от 09.09.2024 № 2154.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект), http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 1
Внешний вид. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект), http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)
Рисунок № 2

Общие сведения

Дата публикации - 12.09.2025
Срок свидетельства - 10.09.2030
Номер записи - edd92f0b-5fd3-c10a-2baf-5426f4aa40dc
ID в реестре СИ - 1426790
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Производитель

Изготовитель - Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -

Отчет - V_10 Специализация организации (типы поверяемых СИ). Медленно! За произвольный период.

Простой и наглядный отчет, дающий представление о специализации организации-поверителя и ее измерительных возможностях. Отчет строится по данным о поверках, переданных в ФГИС АРШИН за период начиная с 2010 года и состоит из таблицы с функцией поиска и сортировки по любой из колонок и круговой диаграммы, визуализирующей данные, представленные в таблице.

Для старта работы с отчетом достаточно указать интересующий для анализа временной интервал (от 2010 до н.в.) и выбрать организацию-поверителя из выпадающего списка.

Таблица может вклчать до нескольких десятков тысяч строк (для больших ЦСМ).

Таблица включает данные о наименовании и типе СИ (с ссылкой на гос. реестр) по которым проводились поверки, количество выполненных поверок и наименование предприятия-изготовителя средства измерений.

В таблице по каждой из организаций за выбранный временной интервал представлена следующая информация:

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№1930 от 2025.09.10 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (14)

Наличие аналогов СИ: Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) ()

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель		 ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»

№ в реестре
cрок св-ва 		Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
95866-25

 Поляриметр автоматический, ВГМ-25
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
95788-25

 Рабочие эталоны средней мощности оптического излучения в волоконно-оптических системах передачи, РЭСМ-ВС-М
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
96387-25
10.09.2030
 Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект),
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
96386-25
10.09.2030
 Меры толщины однослойных оптических покрытий (комплект),
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
96472-25
19.09.2030
 Меры относительной интенсивности флуоресценции (комплект),
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
96470-25
19.09.2030
 Меры оптической плотности (комплект), (МОП-К)
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (РОССИЯ 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46) 		ОТ
МП 		1 год
Отчет - MI_25 Количество СИ и поверок по группам и типам СИ за период

Отчет позволяет выбрать период исследования (например, с 2010 по 2023 годы) и группы СИ (например, [GNSS-ПРИЕМНИКИ СПУТНИКОВЫЕ] [GNSS-ПРИЕМНИКИ СПУТНИКОВЫЕ ГЕОДЕЗИЧЕСКИЕ]) и получить по заданным входным условиям информацию о типах СИ, входящих в выбранные группы, количестве поверок (всех, первичных, периодических и извещений) и количестве средств измерений каждого из типов СИ.

Пояснения
Поверок - всего поверок за выбранный период
Первичных поверок - в качестве маркера первичной поверки берется статус, передаваемый из АРШИН (это не аналитика, а статус из АРШИНа)
Периодических поверок - в качестве маркера периодической поверки берется статус, передаваемый из АРШИН
Без статуса - вычисляется по формуле: Поверок-(Первичных поверок+Периодических поверок)
Кол-во извещений - в качестве маркера извещения поверки берется статус, передаваемый из АРШИН
Кол-во СИ - количество уникальных СИ (год + заводской номер + СИ), поверенных за выбранный период
Кол-во действующих СИ - количество уникальных СИ (год + заводской номер + СИ), действующими на сегодняшнюю дату поверками. Сюда попадают СИ, где поле с датой окончания поверки пустое (т.е. для СИ есть только первичная поверка при выпуске с производства и это не извещение о непригодности) или дата окончания поверки еще не истекла.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) ()

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2026 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические

Стоимость поверки Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) ()

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа

наносится на титульный лист руководства по эксплуатации и на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины, типографским способом.


Сведения о методиках измерений

Сведения о методиках (методах) измерений

приведены в главе 2 «Использование изделия по назначению» документа КВФШ. 401259.003РЭ «Руководство по эксплуатации. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)».


Нормативные и технические документы

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измерений

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерения комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»;

КВФШ.401259.003ТУ. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект). Технические условия.

Правообладатель

Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»

(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46

ИНН 9729338933

Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47

Web-сайт: www.vniiofi.ru

E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014

Изготовитель


Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014

Испытательный центр

Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

Правообладатель


Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»
(ФГБУ «ВНИИОФИ») Юридический адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц 30003-2014

Конструктивно комплект мер толщины представляет собой набор из шести мер диаметром 200 мм из кристаллического кремния Si (вафер), на которых выращены двухслойные покрытия из следующих веществ:

  • - силицид титана TiSh/двуокись кремния SiO2;

  • - нитрид титана TiN/двуокись кремния SiO2;

  • - алюминий Al/двуокись кремния SiO2;

  • - двуокись кремния SiO2/аморфный кремний A-Si;

  • - двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4 (2 меры разной толщины покрытий).

Каждая мера упакована в индивидуальный герметичный пластиковый контейнер, который предохраняет меру от резких ударов и повреждений. На крышке контейнера находится этикетка с маркировкой. Маркировка включает в себя: наименование средства измерений, заводской номер, товарный знак изготовителя, исполнение.

Меры из комплекта мер толщины выпускаются в следующих исполнениях: TiSi2/SiO2, TiN/SiO2, А!/8Ю2, SiO2/A-Si, SiOz/SisN^

Комплект мер толщины помещен в тару в виде герметичного ударопрочного кейса для хранения и перевозки. В кейс помещается также набор пинцетов.

Заводской номер комплекта мер толщины, идентифицирующий каждый экземпляр средства измерений, состоит из арабских цифр и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на кейс для хранения и перевозки комплекта мер толщины.

Заводской номер мер из комплекта мер толщины, включает в себя: арабские цифры и буквы, нижнее подчеркивание, и наносится типографским способом на этикетку, прикрепляемую на крышку контейнера с мерой из комплекта мер толщины.

Пломбирование комплекта мер толщины не предусмотрено. Нанесение знака поверки на комплект мер толщины не предусмотрено.

Общий вид мер из комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера мер представлен на рисунке 1. Общий вид кейса для хранения и перевозки комплекта мер толщины с обозначением места нанесения заводского номера комплекта мер толщины и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 2.

Внешний вид. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) (), http://oei-analitika.ru

Место нанесения заводского номера меры

Рисунок 1 - Общий вид индивидуального герметичного пластикового контейнера с мерой толщины двухслойных оптических покрытий

Внешний вид. Меры толщины двухслойных оптических покрытий (комплект) (), http://oei-analitika.ru

Место нанесения знака утверждения типа

Место нанесения заводского номера комплекта мер толщины

Рисунок 2 - Общий вид кейса для хранения и перевозки мер толщины двухслойных оптических покрытий (комплект)


Таблица 3 -

Наименование

Обозначение

Количество, шт./экз.

Меры толщины двухслойных оптических покрытий

TiSi2/SiO2

1

(комплект)

TiN/SiO2

1

Al/SiO2

1

SiO2/A-Si

1

SiO2/Si3N4

2

Индивидуальный герметичный пластиковый контейнер

-

6

Герметичный ударопрочный кейс

Корсар

1

Комплект пинцетов

-

1

Паспорт

КВФШ.401259.003ПС

1

Руководство по эксплуатации

КВФШ.401259.003РЭ

1


аблица 1 - Метрологические характеристики комплекта мер толщины

Наименование характеристики

Значение

Диапазон допускаемых (номинальных) значений толщин оптического покрытия, нм*

  • - силицид титана TiSi2/двуокись кремния SiO2

  • - нитрид титана TiN/двуокись кремния SiO2

  • - алюминий Al/двуокись кремния SiO2

  • - двуокись кремния SiO2/аморфный кремний A-Si

  • - двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4

  • - двуокись кремния SiO2/нитрид кремния Si3N4

от 46 до 54/от 950 до 1050 от 60 до 80/ от 950 до 1050 от 75 до 85/ от 950 до 1050 от 5 до 8/от 114 до 126 от 12 до 18/ от 76 до 84 от 45 до 55/ от 950 до 1050

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщин оптического покрытия, нм

±0,5

* Действительные значения допускаемых (номинальных) толщин оптического покрытия мер определяются при их первичной поверке

аблица 2 - Основные технические характеристики комплекта мер толщины

Наименование характеристики

Значение

Диаметр мер толщины, мм, не более

200

Габаритные размеры индивидуального контейнера (длинахширинахвысота), мм, не более

220x240x25

Габаритные размеры ударопрочного кейса (длинахширинахвысота), мм, не более

412x328x248

Масса комплекта мер толщины в кейсе, кг, не более

6

Условия эксплуатации:

  • - температура окружающей среды, °С

  • - относительная влажность воздуха, %

  • - атмосферное давление, кПа

от +19,5 до +20,5 от 45 до 70 от 96 до 104


Настройки внешнего вида
Цветовая схема
Ширина
Левая панель