Сведения о средстве измерений: 67838-17 Микроскоп атомно-силовой

Номер по Госреестру СИ: 67838-17
67838-17 Микроскоп атомно-силовой
(Keysight 5600LS)

Назначение средства измерений:
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Микроскоп атомно-силовой, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскоп атомно-силовой
Рисунок № 1

Общие сведения

Дата публикации - 07.05.2020
Срок свидетельства -
Номер записи - 159417
ID в реестре СИ - 381817
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки

Модификации СИ

Нет модификации, Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS,

Производитель

Изготовитель - Фирма "Keysight Technologies Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Отчет позволяет оценить частоту использования эталона в качестве средства поверки.
Анализируемый период: 01.01.2020 - н.в.
Анализ проводится по ГЭТ, аттестованным эталонам или СИ, применяемым в качестве эталонов.
При количестве поверок меньше 40 тыс., выводится список всех поверок.
Строятся графики поверок (всех и периодических) по месяцам.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 6
Выдано извещений - 1
Кол-во периодических поверок - 5
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.

Наличие аналогов СИ: Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений Фирма "Keysight Technologies Inc."

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
41609-09
13.08.2024
Источники питания постоянного тока, N8700
Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год
53567-13
11.04.2024
Наборы мер коэффициентов передачи и отражения, 85054D, 85032F, 85054B, 85052D, 85033E, 85052B, 85956D, 85956A, 85058E. 85058B, 85055A, 85053B, 85057B, 85058V
Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год
67838-17

Микроскоп атомно-силовой, Keysight 5600LS
Фирма "Keysight Technologies Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ )
ОТ
МП
1 год

Нижний Новгород - город в России, административный центр городского округа, центр и район города Приволжского федерального округа. Расположен в центре Восточно-Европейской зоны наблюдения при слиянии Оки и Волги. Ока делит город на две части - берега на Дятловых горах и подходы к ее левой низменности. В период с 1932 по 1990 год город назывался Горький (в честь появления Максима Горького).

Нижний Новгород расположен в 400 км к востоку от Москвы, а транспортный коридор между двумя городами выделяется как конурбация Москва - Нижний Новгород.

Известен как крупный центр судостроения, авиации, автомобилестроения и информационных технологий. В период с 1959 по 1991 год город был закрыт для иностранцев, но в настоящее время является крупнейшим центром речного круизного туризма в России и местом проведения международных выставок различного профиля на базе Нижегородской ярмарки.

Муниципальное образование "город Нижний Новгород" является городским округом, городом областного значения. Площадь: 46 000 га. Население Нижнего Новгорода с подчиненными населенными пунктами (по состоянию на 1 января 2014 года): 1 272 719 человек.

Нижегородская область и ее областной центр - это территория с преобладанием русского населения, которое, согласно последней переписи, составило 95% всех жителей. Однако в Нижнем Новгороде проживает около 100 различных национальностей. В настоящее время в городе официально зарегистрировано 28 национально-культурных обществ. Официальным и общепринятым языком является русский.

На крупных и средних предприятиях города в реальном секторе экономики занято около 223 тысяч человек (38% от общего числа работающих в городе).

Доля города в основных показателях Нижегородской области по следующим направлениям: обрабатывающие производства составляет 28%, розничная торговля - 55,5%, платные услуги - 82,2%, общественное питание 54,8%. Наиболее развитыми отраслями промышленности являются машиностроение и металлообработка, пищевая, черная и цветная металлургия, медицинская, легкая и деревообрабатывающая, машиностроение и металлообработка.

Отчет "Анализ рынка поверки в Нижнем Новгороде" предоставляет исчерпывающую информацию по деятельности организаций, аккредитованных в Национальной системе аккредитации на право поверки средств измерений в городе Нижний Новгород.

При проведении исследований были введены следующие ограничения:

  • в отчете присутствуют организации с первичными или периодическими поверками от 100 шт. с 2017 года и действующими аттестатами аккредитации на текущий год;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • на первом и втором этапах фильтром отсекаются типы СИ с менее чем 10 поверками в год на организацию;
  • место регистрации или осуществления деятельности организаций должно совпадать с выбранным городом;
  • топ типов СИ ограничен 500 позициями по каждой организации (сортировка по убыванию количества поверок);
  • топ типов СИ ограничен 100 позициями по каждой организации при поиске по видам измерений (сортировка по убыванию количества поверок).

Содержание отчета:

  • Список организаций-поверителей, осуществляющих поверку в городе Москва по данным ФСА и ФГИС АРШИН.
  • Объемы первичных и периодических поверок за период с 2017г. по н.в.
  • Информация о местах осуществления деятельности организаций-поверителей.
  • Доля рынка поверок в % среди всех организаций, исследуемого города (предоставление информации в графическом и табличном видах).
  • Детальный анализ по каждой из организации, работающей в выбранном городе.
  • Анализ деятельности в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений.
  • Количество поверок по типам СИ в динамике по годам.
  • Индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
  • Индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
  • Быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей.
  • Анализ цен на поверку СИ по Фед. округу.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2026 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические
ФГУП "ВНИИОФИ"
(RA.RU.311485)
РСТ
  • Нет модификации
  • 2 0 2 0 2 0 2
    ФГУП "ВНИИОФИ"
    (RA.RU.311485)
    РСТ
  • Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS
  • 1 0 0 0 0 0 0
    ФГБУ "ВНИИОФИ"
    (RA.RU.311485)
  • Нет модификации
  • 3 0 3 1 3 0 3

    Стоимость поверки Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS)

    Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

    Программное обеспечение

    Управление микроскопом осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения PicoView (далее по тексту - ПО). В ПО интегрированы окна для управления цифровыми камерами и отображения результата изображений видео или стоп-кадров.

    Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

    Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения

    Идентификационные данные (признаки)

    Значение

    Идентификационное наименование ПО

    PicoView

    Номер версии (идентификационный номер) ПО

    1.18.2 и выше

    Цифровой идентификатор ПО

    -


    Знак утверждения типа

    Знак утверждения типа

    наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания этикетки.


    Сведения о методиках измерений

    Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.


    Нормативные и технические документы

    Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу атомно-силовому Keysight 5600LS

    Техническая документация «Keysight Technologies Inc.», США

    Поверка

    Поверка

    осуществляется по документу МП 002.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23.01.2017 г.

    Основные средства поверки:

    • 1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 41678-09).

    Номинальное значение высоты выступов в шаговых структурах: 20; 110 нм.

    Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2; ±10 нм.

    Номинальное значение шага периодической структуры мер: 3 мкм.

    Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры: ±0,01 мкм.

    • 2 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06).

    Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм.

    Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм. Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах: от 100 до 1400 нм.

    Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2 нм.

    • 3 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63).

    Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,10 мм.

    Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений: - между серединами соседних делений: 0,001 мм;

    - между серединами десяти делений: 0,002 мм.

    Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.

    Знак поверки наносится на переднюю панель корпуса микроскопа.


    Изготовитель


    «Keysight Technologies Inc.», США
    Адрес: 4330 W Chandler Blvd, Chandler AZ 85226, United States
    Телефон: + 1 800 829-4444
    Факс:+ 1 800 829-4433
    Web-сайт: http://www.keysight.com
    E-mail: usa_orders@keysight.com

    Заявитель


    Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
    ИНН: 7729571904
    Адрес: 119330, Россия, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10Б
    Телефон: +7(495) 739-50-05, факс: +7(495) 234-00-36
    Web-сайт: http://www.scanru.ru
    E-mail: office@scanru.com

    Испытательный центр

    Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений»
    Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
    Телефон: +7(495) 437-56-33; факс: +7(495) 437-31-47
    E-mail: vniiofi@vniiofi.ru

    Принцип действия микроскопа в контактном режиме основан на взаимодействии кантилевера с исследуемой поверхностью. Острие кантилевера находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли кантилевера. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между кантилевером и поверхностью образца, регистрируют положение острия кантилевера. Над остриём кантилевера расположена зеркальная площадка, на которую падает и от которой отражается луч лазера. Когда кантилевер опускается и поднимается на неровностях сканируемой поверхности, отраженный луч отклоняется, и это отклонение регистрируется фотодетектором. Далее, путем оцифровки оптического отраженного излучения, происходит определение геометрических параметров поверхности исследуемого объекта.

    В режиме прерывистого контакта кантилевер совершает колебательные движения по синусоидальному закону. Когда кантилевер и образец находятся близко друг к другу во время каждого колебательного цикла, остриё проходит через потенциал взаимодействия, в который входят компоненты дальнодействующего притяжения и краткосрочного отталкивания. Силы, возникающие между острием и образцом, вызывают изменения в амплитуде и фазе колеблющегося кантилевера, что позволяет исследовать мелкие морфологические особенности.

    Микроскоп состоит из координатного столика, сканера, детектора, гранитного моста основы микроскопа, компьютера, головного электронного блока, бокса управления столиком XY, контроллера, виброизоляционной камеры.

    Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1.

    Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.

    Внешний вид. Микроскоп атомно-силовой (Keysight 5600LS), http://oei-analitika.ru

    Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS

    знака поверки

    ЮО/ЦОЧАС

    1ЗД/М) 1-л:'

    Место нанесения л 1

    Место размещения маркировки

    Рисунок 2 - Место размещения маркировки, нанесения знака поверки микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS


    Таблица 4 -

    Наименование

    Обозначение

    Количество

    Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS, зав .№ US11440201 в составе:

    -Координатный столик, зав. № 3913001

    1 шт .

    -Сканер, зав. № us08380210

    1 шт .

    -Детектор

    1 шт .

    -Гранитный мост основы микроскопа

    1 шт .

    -Компьютер, зав. № us13070194

    1 шт .

    -Монитор, зав. № cn-0ygp39-72872-44f-al4l,

    -

    2 шт .

    зав. № cn-0ygp39-72872-44s-dcul

    -Головной электронный блок, зав. № us11440201

    1 шт .

    -Бокс управления столиком XY

    1 шт .

    -Контроллер, зав. № us09490261

    1 шт .

    -Виброизоляционная камера, зав. № 130062

    1 шт.

    CD-диск с программным обеспечением

    -

    1 шт.

    Руководство по эксплуатации

    -

    1 экз.

    Методика поверки

    МП 002.М44-17

    1 экз.


    Таблица 2 - Метрологические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, нм

    от 2000 до 10000

    Диапазон показаний линейных размеров в плоскости XY, нм

    от 0,5 до 90000,0

    Диапазон измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), нм

    от 20 до 600

    Диапазон показаний линейных размеров по вертикали (ось Z), нм

    от 0,05 до 1000,00

    Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %:

    - в плоскости XY

    ±15

    - по вертикали (ось Z)

    ±10

    Таблица 3 - Основные технические характеристики

    Наименование характеристики

    Значение

    Параметры электрического питания:

    - напряжение переменного тока, В

    от 100 до 240

    - частота переменного тока, Гц

    50/60

    Потребляемая мощность, кВт, не более

    1,6

    Габаритные размеры, мм, не более

    - высота

    815

    - ширина

    880

    - длина

    1410

    Масса, кг, не более

    250

    Условия эксплуатации:

    - температура окружающей среды, °С

    от +18 до +23

    - относительная влажность воздуха, %, не более

    80

    - атмосферное давление, кПа

    от 96 до 104


    Настройки внешнего вида
    Цветовая схема

    Ширина

    Левая панель