Номер по Госреестру СИ: 76632-19
76632-19 Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
(LEXT OLS5000)
Назначение средства измерений:
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000 (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 05.01.2020
Срок свидетельства - 29.11.2024
Номер записи - 174957
ID в реестре СИ - 953095
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
мод. LEXT OLS5000-SAF, Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5000-SAF, Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5000-EAF, Микроскоп конфокальный лазерный измерительный LEXT OLS5000, Микроскоп конфокальный лазерный LEXT OLS 5000,
Производитель
Изготовитель - Фирма "OLYMPUS Corporation"
Страна - ЯПОНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Стоит отметить, что не всегда при поверке поле владелец указывается поверителем, кроме того, оно не формализовано и возможно множество отличных написаний наименований собственника СИ. Для этих целей в отчете сделана возможность выбора одновременно нескольких организаций.
В скобках после наименования организации приводится процент поверок и город, где эти поверки были проведены. Привязка осуществляется по месту осуществления деятельности организации-повелителя, которая осуществляла поверку. В подавляющем большинстве случаев адрес владельца СИ не указывается.
Бесплатный
Статистика
Кол-во поверок - 19
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 9
Кол-во средств измерений - 8
Кол-во владельцев - 9
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2827 от 2019.10.29 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5000)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "OLYMPUS Corporation"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
50074-12 01.06.2017 |
Микроскопы измерительные оптические, OLYMPUS STM6, STM6-LM Фирма "OLYMPUS Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
|
64204-16 |
Микроскоп конфокальный лазерный, LEXT OLS 4100 Фирма "OLYMPUS Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
76632-19 29.11.2024 |
Микроскопы конфокальные лазерные измерительные, LEXT OLS5000 Фирма "OLYMPUS Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
78538-20 29.06.2030 |
Микроскопы измерительные оптические, STM7 Фирма "OLYMPUS Corporation" (ЯПОНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5000)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 19 | 3 | 7 | 9 | 0 | 10 | 3 | 7 |
Стоимость поверки Микроскопы конфокальные лазерные измерительные (LEXT OLS5000)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|---|---|
|
ФБУ НИЦ ПМ-Ростест Москва |
77500 | 77500 |
Программное обеспечение
Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5000». ПО «OLYMPUS OLS5000» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5000» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
OLYMPUS OLS5000 |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.2.1.116 или выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Лист № 3 Всего листов 5
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель основного блока в виде наклейки и на титульвнный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационной документации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу конфокальному лазерному измерительному LEXT OLS5000Техническая документация фирмы-изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 76632-19 «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5000. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 08 июня 2019 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС -2.0К (рег. № 33598-06);
- меры длины концевые плоскопараллельные номинальным значением 0,5 мм и 1 мм 3- го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 г. №2840);
- объект -микрометр ОМО (рег. № 590-63);
-
- мера длины штриховая типа ПБ по ГОСТ 12069-90 (диапазон измерений 0-200 мм);
-
- меры шероховатости эталонные ПРО-10 (рег. № 66933-17) с номинальными значениями по параметру шероховатости Ra 0,025 мкм и 77 мкм.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма OLYMPUS Corporation, ЯпонияАдрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan Тел./факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795
E-mail: info@olympus-global.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Мелитэк» (ООО «Мелитэк»)Адрес: 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, строение 2 Тел./факс: (495) 781-07-85
E-mail: info@melytec.ru
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия микроскопа основан на использованием диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал.
В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий.
В Микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС - сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y - гальваносканер. Для удобства работы в Микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения.
Микроскоп включает две оптические системы:
-
- лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель,
-
- оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей.
Конструктивно Микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа.
Микроскоп имеет несколько модификаций: OLS5000-SAF, OLS5000-SMF, OLS5000-LAF, OLS5000-EAF, OLS5000-EMF, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа конфокального лазерного LEXT OLS 5000
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,5 до 800,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L - измеряемая длина, мкм) |
±(0,15+L/100) |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более - объектив 20х |
0,030 |
|
- объектив 50х |
0,012 |
|
- объектив 100х |
0,012 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мкм) - объектив 10х |
±(5,0+L/100) |
|
- объектив 20х или выше |
±(1,0+L/100) |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм - объектив 10х |
от 30 до 1200 |
|
- объектив 20х |
от 15 до 600 |
|
- объектив 50х |
от 5 до 250 |
|
- объектив 100х |
от 2 до 120 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, % |
±1,5 |
|
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более - объектив 20х |
0,05 |
|
- объектив 50х |
0,04 |
|
- объектив 100х |
0,02 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L - измеряемая длина, мм) - объектив 10х |
±(24+L/2) |
|
- объектив 20х |
±(15+L/2) |
|
- объектив 50х |
±(9+L/2) |
|
- объектив 100х |
±(7+L/2) |
|
Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra |
от 0,025 до 100 |
|
- Rz |
от 0,05 до 200 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra |
±(0,003+0,04<Ra) |
|
- Rz |
±(0,006+0,04<Rz) |
|
(где Ra, Rz - параметры шероховатости, мкм) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация прибора | ||||
|
OLS5000- SAF |
OLS5000- SMF |
OLS5000- LAF |
OLS5000- EAF |
OLS5000- EMF | |
|
Разрешение в плоскости XY, нм, не более |
1 | ||||
|
Разрешение по оси Z, нм, не более |
0,5 | ||||
|
Диапазон перемещения столика образцов, мм |
100x100 |
100x100 |
300x300 |
100x100 |
100x100 |
|
Привод столика образцов |
моторизованный |
ручной |
моторизованный |
моторизованный |
ручной |
|
Максимальная высота образцов, мм |
100 |
40 |
37 |
210 |
150 |
|
Масса, кг, не более - основной блок; -блок электроники |
31 |
32 |
50 |
43 |
44 |
|
12 | |||||
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более:
|
360х275х510 180x360x380 | ||||
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 | ||||
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 210 до 230 | ||||
|
Потребляемая мощность, Вт, не более |
280 | ||||