Наименование

Обозначение

Количество

Анализатор силовых полупроводниковых приборов В1505А или В1506А

*

1 шт.

Комплект принадлежностей

1 шт.

Программное обеспечение

1 шт.

Руководство по эксплуатации

1 экз.

Методика поверки

МП-610-001-2018

1 экз.

* ¹ по заказу

Наименование характеристики

Значение

В1505А, В1506А

Н20   Н21

Н50   Н51

Н70     Н71

Диапазон измерений/воспроизведения напряжения постоянного тока, В

±3000

Диапазоны измерений/воспроизведения    силы

постоянного тока, А

±20

±500

±1500

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модуля MPSMU (АЦП с высоким разрешением)

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мкВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Максимальный ток, мА

±0,5

0,5

±(1-10^-4-ип⁽¹⁾ + 0,5)

100

±2

2,0

±(1-10^-4- ип + 0,5)

100

±5

5,0

±(9-10^-5- ип + 1)

100

±20

20,0

±(9-10^-5- ип + 1)

100

±40

40,0

±(1-10^-4- ип + 1)

(2)

±100

100,0

±(1,2-10^-4- ип + 2,5)

(2)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока модуля MPSMU (АЦП с высоким разрешением/высокоскоростной АЦП)

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Максимальный ток, мА

±0,5

0,025

±(1,8-10^-_-4⁴-ип + 0,5)

100

±2

0,100

±(1,8-10_-^-4₄-ип + 0,5)

100

±5

0,250

±(1,8-10^-4-ип + 1)

100

±20

1,000

±(1,8-10^-4-ип + 3)

100

±40

2,000

±(1,8-10^-4-ип + 6)

(2)

±100

5,000

±(1,8-10^-4-ип + 15)

(2)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока модуля MPSMU (высокоскоростной АЦП)

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Максимальный ток, мА

±0,5

0,025

±(1-10^-4-ип + 0,5)

100

±2

0,100

±(1-10^-4-ип + 0,7)

100

±5

0,250

±(1-10^-4-ип + 2)

100

±20

1,000

±(1-10^-4-ип + 4)

100

±40

2,000

±(1,5-10^-4-ип + 8)

(2)

±100

5,000

±(2-10^-4-ип + 20)

(2)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения напряжения постоянного тока модуля HVSMU

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Максимальный ток, мА

±200

0,2

±(3-10"⁴-U_n + 40)

8

±500

0,5

±(3-10"⁴-U_n + 100)

8

±1500

1,5

±(3-10’⁴-Un + 300)

8

±3000

3,0

±(3-10"⁴-U_n + 600)

4

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения напряжения постоянного тока модуля МCSMU

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мкВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Максимальный ток, А

±0,2

0,2

±(6-10"⁴-U_n + 0,14)

1

±2

2,0

±(6-10"⁴-U_n + 0,6)

1

±20

20,0

±(6-10"⁴-U_n + 3)

1

±30

40,0

±(6-10"⁴-U_n + 3)

1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения напряжения постоянного тока модуля HCSMU

Поддиапазоны,

В

Разрешение, мкВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

Коэффициент k1, Ом

Максималь ный ток, А

±0,2

0,2

±(6-10^^* + 0,6 +0,05- I0)⁽³⁾

0,05

20

±2

2,0

±(6-10"⁴-U_n + 0,6 + 0,5-I)

0,5

20

±20

20,0

±(6-10’⁴-Un + 3 + I₀- k1)

5

20

±40

40,0

±(6-10^^ + 3 + I0- k1)

10

1

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения напряжения постоянного тока модуля UHCU

Диапазон, В

Разрешение, мкВ

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, мВ

±60

100/200

1 (2- 10^-3-U,, + 10)⁽⁴⁾

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока модуля МРSMU

Поддиапа зоны, мкА

Разрешени е, пА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, А

Коэффициент _{k2, Ом}^-1

Максимальное напряжение, В

±0,01

0,01

Не нормируются

100

±0,1

0,1

Не нормируются

100

±1

1,0

Не нормируются

100

±10

10,0

±(4- 10^-4-1_п ⁽⁶⁾ + 2-10^-9 + U₀⁽⁵⁾ k2)⁽⁸⁾

±(4- 10^-4-1_п + 2-10^-9 + U₀- k2)⁽⁹⁾

3-10^-11

3-10^-9

100

±100

100,0

±(3-10^-4-1п + 3-10^-9 + U0- k2) ⁽⁸⁾ ±(3 - 10^-4-1п + 3 -10^-9 + U0- k2) ⁽⁹⁾

1-10^-10

3-10^-9

100

±1-10³

1-10³

±(3-10^-4-1_п + 6-10^-8 + U₀- k2) ⁽⁸⁾

±(3-10^-4-1п + 6-10^-8 + U0- k2) ⁽⁹⁾

о о

40   40

100

±1-10⁴

1-10⁴

±(3-10^-4-1п + 2-10^-7 + U0- k2)

1-10^-8

100

±1-10⁵

1-10⁵

±(4-10^-4-1_п + 6-10^-6 + U₀- k2)

1-10^-7

(7)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока модуля        (АЦП с высоким разрешением

Поддиап азоны, мкА

Разреше ние, А

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, А

Коэффициент _{k3, Ом}^-1

Максимальное напряжение, В

±0,01

5-10^-13

Не нормируются

100

±0,1

5-10^-12

Не нормируются

100

±1

5-10^-11

Не нормируются

100

±10

5-10^-10

±(5-10^-4-1_п + 3-10^-9 + U₀- k3)⁽⁸⁾ ±(5- 10^-4-1_п + 3-10^-9 + U₀- k3) ⁽⁹⁾

3-10^-11

3-10^-9

100

±100

5-10^-9

±(3,5-10^-4-1п + 15-10^-9 + U0- k3) ⁽⁸⁾

±(3,5-10^-4-1п + 15-10^-9 + U0- k3) ⁽⁹⁾

1-10^-10

3-10^-9

100

±1-10³

5-10^-8

±(4- 10^-4-1_п + 15-10^-8 + U₀- k3) ⁽⁸⁾ ±(4-10^-4-1п+ 15-10^-8+ U0- k3) ⁽⁹⁾

О О

40   40

100

±1-10⁴

5-10^-7

±(4-10^-4-1п + 15-10^-7 + U0- k3)

1-10^-8

100

±1-10⁵

5-10^-6

±(4,5-10^-4-1_п + 15-10^-6 + U₀- k3)

1-10^-7

(7)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока модуля МРSMU (высокоскоростной АЦП)

Поддиап азоны, мкА

Разрешение, А

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, А

Коэффициент _{k4, Ом}^-1

Максимальное напряжение, В

±0,01

5-10^-13

Не нормируются

100

±0,1

5-10^-12

Не нормируются

100

±1

5-10^-11

Не нормируются

100

±10

5-10^-10

±(5-10^-4-1_п + 2-10^-9 + U₀- k4) ⁽⁸⁾ ±(5-10^-4-1п+ 2-10^-9+ U0- k4) ⁽⁹⁾

3-10^-11

3-10^-9

100

±100

5-10^-9

±(5-10^-4-1п + 2-10^-8 + U0- k4) ⁽⁸⁾ ±(5-10^-4-1_п+ 2-10^-8+ U₀- k4) ⁽⁹⁾

1-10^-10

3-10^-9

100

±1-10³

5-10^-8

±(4- 10^-4-1_п + 2-10^-7 + U₀- k4)⁽⁸⁾

±(4- 10^-4-1п+ 2-10^-7+ U0- k4) ⁽⁹⁾

О о

40   40

100

±1-10⁴

5-10^-7

±(4-10^-4-1_п + 2-10^-6 + U₀- k4)

1-10^-8

100

±1-10⁵

5-10^-6

±(1-10^-3-1_п + 2-10^-5 + U₀- k4)

1-10^-7

(7)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения силы постоянного тока модуля HVSMU

Поддиа пазоны, мкА

Разре шение, пА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, А

Коэффи-ц

иент k5, Ом^-1

Максимальное напряжение, В

Минимальный установленный ток, нА

±0,01

0,1

Не нормируются

3000

1-10^-3

±0,1

0,1

Не нормируются

3000

0,1

±1

1,0

Не нормируются

3000

0,1

±10

10,0

Не нормируются

3000

10

±100

100,0

±(3-10^-4-1п + 3-10^-9 + U0- k5)

3-10^-9

3000

10

±1-10³

1-10³

±(3-10^-4-1_п + 6-10^-8 + U₀- k5)

3000

100

±1-10⁴

1-10⁴

±(3-10^-4-1_п + 2-10^-7 + U₀- k5)

1500

1-10³

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения силы постоянного тока модуля МСSMU

Поддиапазо ны, мА

Разреше ние, нА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений, А

Коэффициент _{k6, Ом}^-1

Максимальное напряжение, В

±0,01

0,01

±(6-10^-4-1_п + 1-10^-8 + U₀- k6)

1-10^-10

30

±0,1

0,1

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-8 + U₀- k6)

1-10^-9

30

±1

1,0

±(6-10^-4-1п + 2-10^-7 + U0- k6)

1-10^-8

30

±10

10,0

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-6 + U₀- k6)

1-10^-7

30

±100

100,0

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-5 + U₀- k6)

1-10^-6

30

±1-10³⁽¹⁰⁾

1-10³

±(4-10^-3-1п + 2-10^-4 + U0- k6)

1-10^-5

30

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения силы постоянного тока модуля HСSMU

Поддиапазо ны, мА

Разрешение, нА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений, А

Коэффициент k7, Ом^-1

Максимальное напряжение, В

±0,010

0,01

±(6-10^-4-1п + 1-10^-8 + U0- k7)

3-10^-9

40

±0,100

0,1

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-8 + U₀- k7)

3-10^-9

40

±1

1,0

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-7 + U₀- k7)

1-10^-8

40

±10

10,0

±(6-10^-4-1п + 2-10^-6 + U0- k7)

1-10^-7

40

±100

100,0

±(6-10^-4-1_п + 2-10^-5 + U₀- k7)

1-10^-6

40

±1-10³

1-10³

±(4-10^-3-1_п + 2-10^-4 + U₀- k7)

1-10^-5

40

±2-10⁴⁽¹¹⁾

2-10⁴

±(4-10^-3-1п + 2-10^-3 + U0- k7)

1-10^-4

20

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений/воспроизведения силы постоянного тока модуля UHCU

Диапазоны, А

Разрешение, мА

Пределы допускаемой абсолютной погрешности, А

Коэффициент k8,

_Ом^-1

Максимально е напряжение, В

измерение

воспроизведение

±500

0,5

1

±(6-10^-3-1п* +0,3 + k8-U0)

0,01

63

±1500

2,0

4

±(8-10^-3-1п +0,9 + k8-U0)

0,02

63

Диапазон измерений электрической ёмкости при частоте тестового сигнала от 1 кГц до 1 МГц (для исполнений Н21, Н51, Н71), Ф

от 140^-13 до 1-10^-6

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической ёмкости модуля MFCMU (для исполнений Н21, Н51, Н71)

Частота, кГц

Значения электрической ёмкости, нФ

Пределы допускаемой относительной погрешности установки значений ёмкости, %

Погрешность установки частоты тестового сигнала, %

1-10³

0,001

±0,26

±0,008

0,010

±0,11

0,100

±0,10

1,000

±0,10

100

0,010

±0,18

0,100

±0,11

1,000

±0,10

10,000

±0,10

10

0,100

±0,18

1,000

±0,11

10,000

±0,10

100,000

±0,10

1

0,100

±0,92

1,000

±0,18

10,000

±0,11

100,000

±0,10

• ⁽¹⁾ и_п - значение показаний напряжения;

• ⁽²⁾ при U £ 20 В максимальный ток 100 мА, при 20 В < U £ 40 В максимальный ток 50 мА, при 40 В < U £ 100 В максимальный ток 20 мА,

(U - значение измеряемого напряжения, В)

• ⁽³⁾ I0- - значение измеряемого/выходного тока в А

• ⁽⁴⁾ Погрешность определяется при длительности импульса 1 мс в диапазоне ±500 А,а при длительности импульса 500 мкс в диапазоне ±1500 А

• ⁽⁵⁾ U0 - выходное напряжение источника в В; 1_п ⁽⁶⁾ - значение показаний силы тока в А

• ⁽⁷⁾ при I £ 20 мА максимальное напряжение 100 В,

при 20 мА < I £ 50 мА максимальное напряжение 40 В,

при 50 мА < I £ 100 мА максимальное напряжение 20 В, ₍(₈I₎- - значение измеряемого/выходного тока в А);

• ⁽⁸⁾ для выхода затвор (Gate)

• ⁽⁹⁾ для выхода сток (Drain)

• ⁽¹⁰⁾ только в импульсном режиме. Максимальное значение базового тока в импульсном режиме составляет ±50 мА

• ⁽¹¹⁾ только в импульсном режиме. Максимальное значение базового тока в импульсном режиме составляет ±100 мА

Наименование характеристики

Значение

Потребляемая мощность, В •А, не более: базовый блок

900

тестовая оснастка:

- исполнения Н20, Н21

130

- исполнения Н50, Н51

470

- исполнения Н70, Н71

470

Параметры электрического питания

-- напряжение переменного тока, В

от 198 до 242

-- частота переменного тока, Гц

от 47 до 63

Габаритные размеры, мм, не более: базовый блок:

- высота

330

- ширина

420

- длина

575

тестовая оснастка:

- высота

360

- ширина

420

- длина

575

Масса, кг, не более:

- базовый блок

35

- тестовая оснастка:

- исполнения Н20, Н21

22

- исполнения Н50, Н51, Н70, Н71

33,5

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающего воздуха, °С

от 18 до 28

- относительная влажность воздуха, %

от 30 до 80

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 106,7