Номер по Госреестру СИ: 86402-22
86402-22 Микроскопы электронные растровые настольные
(Phenom)
Назначение средства измерений:
Микроскопы электронные растровые настольные Phenom (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электроннозондового элементного анализа.

Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые настольные
Рисунок № 1

Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые настольные
Рисунок № 2

Внешний вид.
Микроскопы электронные растровые настольные
Рисунок № 3
Общие сведения
Дата публикации - 17.08.2022
Срок свидетельства - 16.08.2027
Номер записи - 188394
ID в реестре СИ - 1401413
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп электронный растровый настольный Phenom XL G2, Phenom XL G2,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Thermo Fisher Scientific"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет в табличной и графической формах показывает частоту назначения МПИ конкретного, выбранного из списка, типа СИ. К выбру доступны только типы СИ, имеющие загруженные поверки в ФГИС АРШИН.
Значение МПИ (в днях и годах) берется как разница между датой окончания поерки и датой ее проведения.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 365 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2022 от 2022.08.16 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (18)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom)
ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
---|
Все средства измерений Фирма "Thermo Fisher Scientific"
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
---|---|---|---|
13504-12 30.07.2017 |
Комплексы газоаналитические, 1400 (ТЕ-1) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
13987-11 31.03.2016 |
Спектрометры эмиссионные с индуктивно связанной плазмой, iCAP 6000 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
16590-08 01.06.2013 |
Анализаторы элементные, FlashEA 1112, мод. CHNS/O, CHN/O, CHNS, CHN, NCS, S, O, N, NC, NC Soil, NC Sediments, NC Filters, N Protein, N Brew, XL Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
22506-07 01.06.2012 |
Анализаторы нефтепродуктов, ECS Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
22810-07 01.11.2012 |
Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой, XSERIES 2 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
22810-12 24.08.2017 |
Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой, XSERIES 2 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
22811-07 01.11.2012 |
Спектрофотометры атомно-абсорбционные, SOLAAR серии S (мод. S2, S4) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
23599-02 01.11.2012 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, IR100, IR200, IR300 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
25596-08 01.08.2013 |
Анализаторы нефтепродуктов, TS 3000, TS 4000 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
28566-08 01.01.2014 |
Хромато-масс-спектрометры с масс-спектрометрами, Focus GC/Trace GC (хромато-масс-спектрометры); DSQ II, ITQ 700, ITQ 900, ITQ 1100, DFS, TSQ (масс-спектрометры) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
28566-10 01.08.2015 |
Хромато-масс-спектрометры с масс-спектрометрами, Focus GC/Trace GC (хромато-масс-спектрометры); DSQ II, ITQ 700, ITQ 900, ITQ 1100, DFS, TSQ, ISQ (масс-спектрометры) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
33901-07 01.03.2012 |
Анализаторы общего, органического и неорганического углерода, TOC 1200 и HiperTOC Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
34660-07 01.02.2018 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Antaris (мод. II, MX, EX, IGS) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
34998-07 01.06.2012 |
Спектрометры комбинационного рассеяния, Nicolet Almega XR Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
1 год | |
38129-08 01.07.2013 |
Системы измерительные, AutoPILOT Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
2 года |
38470-08 01.09.2013 |
Спектрофотометры, Evolution 60 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
38660-08 01.10.2013 |
Хроматографы жидкостные, Surveyor LC Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
38812-08 01.10.2013 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet iS10 и Nicolet iN10 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
38812-11 16.09.2016 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet iS5, Nicolet iS10, Nicolet iN10 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
38943-08 01.11.2013 |
Спектрометры комбинационного рассеяния, DXR SmartRaman и DXR Raman Microscope Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
40222-08 01.01.2014 |
Спектрометры атомно-абсорбционные, iCE 3000 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
41226-09 01.09.2014 |
Пикнометры газовые, Pycnomatic, Pycnomatic ATC Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
41229-09 01.09.2014 |
Анализаторы сероводорода, Tracker XP Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
41275-09 01.10.2014 |
Спектрофотометры, Helios Zeta, Helios Omega, AquaMate, AquaMate Plus, BioMate 6 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
42541-09 01.01.2015 |
Расходомеры жидкости многоканальные ультразвуковые для открытых каналов, напорных и безнапорных трубопроводов, Sarasota мод. 200 и 2000 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
4 года |
43235-09 01.01.2015 |
Анализаторы пыли, TEOM 1405, TEOM 1405-D, TEOM 1405-F, TEOM 1405-DF Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
43269-09 01.01.2015 |
Хроматографы жидкостные с детекторами, ACCELA LC (хроматографы); Accela PDA Plus, Accela Fl Plus, Accela RI Plus, MSQ Plus, LTQ XL/Velos, LTQ Orbitrap, LXQ, LСQ Fleet, TSQ Quantum Access Max, TSQ Vantage, Exactive (детекторы) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
43356-09 |
Анализаторы пыли, TEOM 1405PM10 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
44013-10 12.03.2025 |
Дозиметры индивидуальные прямопоказывающие, EPD Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
44865-10 17.07.2021 |
Спектрофотометры, Evolution 300, Evolution 600 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
45151-10 01.08.2015 |
Спектрофотометры, Evolution Array Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
45537-10 01.08.2015 |
Газоанализаторы, 48i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
45538-10 01.08.2015 |
Газоанализаторы, 42i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
45542-10 01.08.2015 |
Газоанализаторы, 450i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
46011-10 02.12.2015 |
Спектрометры флуоресцентные, Lumina Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
46371-11 31.12.2025 |
Системы термолюминесцентные дозиметрические автоматизированные, Harshaw мод. 6600, 6600 LITE, 6600 PLUS Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
2 года |
46818-11 18.05.2026 |
Рабочие эталоны 1-го разряда - калибраторы газовых смесей, 146i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
47209-11 13.07.2016 |
Газоанализаторы, 17i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
47210-11 13.07.2016 |
Газоанализаторы, 410i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
47356-11 29.07.2016 |
Газоанализаторы, 55i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
48180-11 06.10.2021 |
Спектрофотометры, Evolution 201, Evolution 220 и Evolution 260 Bio Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
48333-11 12.09.2026 |
Рабочие эталоны 1-го разряда - генераторы нулевого воздуха, TEI мод. 1160 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
48966-12 02.02.2017 |
Анализаторы общей серы в нефтепродуктах промышленные, SOLA II и SOLA II Trace Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
49459-12 10.04.2017 |
Газоанализаторы, 48i мод. 48i TLE Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
49525-12 10.04.2017 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet 6700, Nicolet 8700 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
50926-12 24.08.2017 |
Масс-спектрометры с индуктивно связанной плазмой, ICAP Q мод. ICAP Qa, ICAP Qc и ICAP Qs Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
51311-12 21.09.2017 |
Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные, Theta Probe Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
51312-12 21.09.2017 |
Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные, Escalab 250Xi Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
51588-12 29.10.2017 |
Спектрометры рентгеновские фотоэлектронные многофункциональные, K-ALPHA Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
51887-12 05.10.2022 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet iS50 и Nicolet iS50R Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
52552-13 23.01.2018 |
Хроматографы жидкостные с масс-спектрометрическими детекторами, детекторами на диодной матрице, UltiMate 3000 (хроматографы) MSQ Plus, LTQ XL, Velos Pro, Orbitrap Elite, Orbitrap Velos Pro, LCQ Fleet, TSQ Quantum ACCESS Max, TSQ Vantage, Exactive Plus, Q Exactive (масс-спектрометрические детекторы), DAD-3000, DAD-3000RS (на диодной матрице) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
53534-13 17.05.2018 |
Анализаторы нефтепродуктов универсальные, ECS 3000 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
53544-13 12.03.2023 |
Газоанализаторы, модели 43i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
54497-13 15.06.2024 |
Анализаторы пыли, TEOM серии 1405 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
54779-13 23.08.2018 |
Газоанализаторы, TVA-1000B Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
54790-13 31.07.2024 |
Газоанализаторы, 51i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
56026-13 19.12.2018 |
Анализаторы, NanoDrop 2000, NanoDrop 2000c, NanoDrop 8000, NanoDrop Lite Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
56130-14 15.01.2019 |
Хроматографы жидкостные с масс-спектрометрическими детекторами, EASY nLC 1000 (хроматографы) Velos Pro, Orbitrap Elite, Orbitrap Fusion, Exactive, Q Exactive, TSQ Quantiva, TSQ Endura (детекторы) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
56161-14 23.10.2024 |
Газоанализаторы, 450i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
56162-14 17.01.2019 |
Анализаторы элементные, iPRO 5000 мод. N, S, N/S Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ |
1 год |
60410-15 14.04.2020 |
Мониторы радиоактивного поверхностного загрязнения персонала, IPM9X Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
2 года |
60846-15 |
Газоанализатор, 60i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
62884-15 12.11.2025 |
Газоанализаторы, Thermo Scientific мод. 48i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
63037-16 |
Анализаторы пыли, ТЕОМ 1400АВ Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
63565-16 30.03.2026 |
Газоанализаторы, Thermo Scientific мод. 42i, 17i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
64262-16 16.06.2021 |
Системы мониторинга беспроводные, Smart-Vue Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
64322-16 24.06.2021 |
Хроматографы газовые с масс-спектрометрическими детекторами, TRACE 1300/1310 (хроматографы) ISQ, Q Exactive GC, DFS, TSQ 8000 Evo/Duo (детекторы) Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
66036-16 16.12.2021 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet iS5, Nicolet iS5N, Nicolet iS5 LS, Nicolet iS10 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
66097-16 21.12.2021 |
ИК-фурье микроскопы, Nicolet iN10 и Nicolet iN10MX Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
68152-17 26.07.2022 |
Газоанализаторы, Thermo Scientific мод. 60i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
68379-17 21.08.2022 |
Газоанализаторы, Thermo Scientific мод. 15i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
71642-18 28.06.2024 |
Анализаторы, NanoDrop One, NanoDrop OneC Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
72088-18 03.08.2024 |
Анализаторы общей серы в нефтепродуктах промышленные, SOLA II и SOLA II Flare Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
73646-18 27.12.2024 |
Спектрофотометры, Evolution 350 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
73999-19 11.02.2029 |
Масс-спектрометры, Prima PRO, Sentinel PRO, Prima BT Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
75820-19 20.08.2024 |
Микроскопы электронные растровые настольные, Phenom Pure, Phenom Pro, Phenom ProX, Phenom Pharos, Phenom XL Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
76796-19 10.12.2024 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet iS20 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
79277-20 22.09.2025 |
Фурье-спектрометры инфракрасные, Nicolet Summit Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
82159-21 13.07.2026 |
Газоанализаторы, 49i Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
84438-22 |
Хроматограф жидкостный UltiMate 3000 с масс-спектрометрическим детектором TSQ Fortis, Обозначение отсутствует Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
85846-22 09.06.2027 |
Спектрофотометры, Genesys Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
86402-22 16.08.2027 |
Микроскопы электронные растровые настольные, Phenom Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
86403-22 |
Микроскоп электронный просвечивающий, Themis Z G3 Фирма "Thermo Fisher Scientific" (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom)
Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2025 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 2 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
УРАЛЬСКИЙ НИИ МЕТРОЛОГИИ (RA.RU.311473) | РСТ | 1 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Микроскопы электронные растровые настольные (Phenom)
Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО) «Phenom UI» является специализированным ПО микроскопа.
ПО «Phenom UI» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Phenom UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Phenom UI |
Номер версии (идентификационный номер) ПО: |
6.X.X и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Лист № 4 Всего листов 6
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе «Микроскопы электронные растровые настольные Phenom. Руководство по эксплуатации», раздел 4.5 «Измерения».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к Микроскопам электронным растровым настольным PhenomГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840;
Техническая документация фирмы-изготовителя «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
ПравообладательФирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Адрес: Achtseweg Noord 5 gebouw AAE, 5651 GG Eindhoven, The Netherlands. Тел./Факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail: info@phenom-world.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-числовом формате и год изготовления нанесен методом фотопечати на шильдик, закрепленный по центру на задней панели модуля получения изображений. Внешний вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 - 3.место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

Программное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО) «Phenom UI» является специализированным ПО микроскопа.
ПО «Phenom UI» предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Phenom UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Phenom UI |
Номер версии (идентификационный номер) ПО: |
6.X.X и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Лист № 4 Всего листов 6 Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||||
Phenom Pure G6 |
Phenom Pro G6 |
Phenom ProX G6 |
Phenom Pharos G2 |
Phenom XL G2 |
Phenom ParticleX | |
Пространственное разрешение, нм, не более |
15 |
6 (режим SE) 8 (режим BSE) |
2 |
10 |
10 | |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 1 до 1000 | |||||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
±2 |
±2 |
±1,5 |
±3 |
±3 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более |
132* |
- |
132 |
132* |
132* |
132* |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||||
Phenom Pure G6 |
Phenom Pro G6 |
Phenom ProX G6 |
Phenom Pharos G2 |
Phenom XL G2 |
Phenom ParticleX | |
Ускоряющее |
5, 10 |
от 4,8 |
от 4,8 |
от 1 до |
от 4,8 до |
от 4,8 до |
напряжение, кВ |
до 20,5 |
до 20,5 |
20 |
20,5 |
20,5 | |
Диапазон увеличений |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
электронной оптики, |
до |
до |
до |
до |
до |
до |
крат |
175000 |
350000 |
350000 |
1500000 |
200000 |
200000 |
Источник электронов |
катод |
катод |
катод |
полевой |
катод |
катод |
CeB6 |
CeB6 |
CeB6 |
катод Шоттки |
CeB6 |
CeB6 | |
Срок службы источника электронов, часов, не |
1500 |
1500 |
1500 |
2000 |
1500 |
1500 |
менее | ||||||
Диапазон определяемых |
от В до |
- |
от В до |
от В до |
от В до |
от В до |
элементов |
Cf * |
Cf |
Cf * |
Cf * |
Cf * | |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
73 |
98 |
Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ), мм, не более:
|
286х566х495 145х220х213 156х300х74 93х306х344 |
360х587х625 145х220х213 156х300х74 93х306х344 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 | |
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 110 до 240 | |
Потребляемая мощность, Вт, не более |
300 |
400 300 |
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
Наименование |
Обозначение |
Количество |
Микроскоп электронный растровый настольный Phenom |
- |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Методика поверки |
- |
1 экз. |
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к Микроскопам электронным растровым настольным Phenom Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840;
Техническая документация фирмы-изготовителя «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Правообладатель Фирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Адрес: Achtseweg Noord 5 gebouw AAE, 5651 GG Eindhoven, The Netherlands. Тел./Факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail: info@phenom-world.com
Фирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.
Адрес: Achtseweg Noord 5 gebouw AAE, 5651 GG Eindhoven, The Netherlands. Тел./Факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail: info@phenom-world.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «Thermo Fisher Scientific», Нидерланды.Адрес: Achtseweg Noord 5 gebouw AAE, 5651 GG Eindhoven, The Netherlands. Тел./Факс: +31 (0)40 259 73 60
E-mail: info@phenom-world.com
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: Phenom Pure G6, Phenom Pro G6, Phenom ProX G6 , Phenom Pharos G2, Phenom XL G2, Phenom ParticleX, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения, пространственного разрешения и погрешностью измерений линейных размеров.
Микроскоп представляет собой настольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, источника питания, монитора, рабочей станции. Модуль получения изображений включает электронно-оптическую систему (колонну), камеру образцов, разделенную на два отсека, в первом из которых имеется возможность с помощью телевизионной камеры выбирать по оптическому изображению участок для исследования, затем образец с сохранением ориентации может быть перемещен в отсек для наблюдения электронно-микроскопических изображений. Камера образцов оборудована столиком с моторизованным механизмом перемещения объектов по осям X и Y и ручным приводом по оси Z. В электронно-оптическом отсеке камеры образцов внешним насосом обеспечивается остаточное давление от 1 Па до 60 Па, которое программно устанавливается оператором в зависимости от желаемого режима работы микроскопа (режим вторичной эмиссии или обратно рассеянных электронов). Режим низкого вакуума в камере образцов (при давлении более 10 Па) позволяет проводить исследования непроводящих объектов без предварительного их запыления.
Микроскоп имеет четырехсегментный полупроводниковый детектор обратнорассеянных электронов и опционально устанавливаемый детектор вторичных электронов, обеспечивающий получение изображений в режиме SE. Интегрированный энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (штатно устанавливается на модификации Phenom ProX G6 и опционально - на модификации Phenom Pure G6, Phenom Pharos G2, Phenom XL G2, Phenom ParticleX) выполнен на базе кремниевого дрейфового детектора SDD с активной площадью 25 мм2, охлаждаемый теромоэлектрически. Вакуумная система микроскопа включает встроенный в модуль получения изображений турбомолекулярный насос, обеспечивающий высокий вакуум в области электронной пушки с катодом из гексаборида церия и дополнительно ионный насос для обеспечения сверхвысокого вакуума для электронной пушки с катодом Шоттки с полевой эмиссией (модификация Phenom Pharos G2). Камера образцов и колонна разделены диафрагмой, обеспечивающей необходимый перепад остаточных давлений.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-числовом формате и год изготовления нанесен методом фотопечати на шильдик, закрепленный по центру на задней панели модуля получения изображений. Внешний вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 - 3.
место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов Phenom Pure G6, Phenom Pro G6, Phenom ProX G6
место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

Рисунок 2 - Общий вид микроскопов Phenom Pharos G2
место нанесения знака поверки
место нанесения знака утверждения типа

Рисунок 3 - Общий вид микроскопов Phenom XL G2, Phenom ParticleX
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||||
Phenom Pure G6 |
Phenom Pro G6 |
Phenom ProX G6 |
Phenom Pharos G2 |
Phenom XL G2 |
Phenom ParticleX | |
Пространственное разрешение, нм, не более |
15 |
6 (режим SE) 8 (режим BSE) |
2 |
10 |
10 | |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 1 до 1000 | |||||
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±3 |
±2 |
±2 |
±1,5 |
±3 |
±3 |
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более |
132* |
- |
132 |
132* |
132* |
132* |
* - опционально
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Модификация прибора | |||||
Phenom Pure G6 |
Phenom Pro G6 |
Phenom ProX G6 |
Phenom Pharos G2 |
Phenom XL G2 |
Phenom ParticleX | |
Ускоряющее |
5, 10 |
от 4,8 |
от 4,8 |
от 1 до |
от 4,8 до |
от 4,8 до |
напряжение, кВ |
до 20,5 |
до 20,5 |
20 |
20,5 |
20,5 | |
Диапазон увеличений |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
от 160 |
электронной оптики, |
до |
до |
до |
до |
до |
до |
крат |
175000 |
350000 |
350000 |
1500000 |
200000 |
200000 |
Источник электронов |
катод |
катод |
катод |
полевой |
катод |
катод |
CeB6 |
CeB6 |
CeB6 |
катод Шоттки |
CeB6 |
CeB6 | |
Срок службы источника электронов, часов, не |
1500 |
1500 |
1500 |
2000 |
1500 |
1500 |
менее | ||||||
Диапазон определяемых |
от В до |
- |
от В до |
от В до |
от В до |
от В до |
элементов |
Cf * |
Cf |
Cf * |
Cf * |
Cf * | |
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
73 |
98 |
Габаритные размеры основных составных частей (ДхШхВ), мм, не более:
|
286х566х495 145х220х213 156х300х74 93х306х344 |
360х587х625 145х220х213 156х300х74 93х306х344 |
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +22 80 | |
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, В |
от 110 до 240 | |
Потребляемая мощность, Вт, не более |
300 |
400 300 |
* - опционально